仪器名称
有机金属真空热蒸镀仪+手套箱
放置所在
继续教育学院111
认真人
赵娟
仪器生产厂家及型号
方昇光电/FS500-S16
仪器研究偏向
OLED器件制备
仪器主要功效用途及参数
主要功效用途：：：用于蒸发镀膜，用于高效率OLED器件的设计与制备、光电器件性能剖析、光电能量转换机理、半导体薄膜外貌与界面的研究。
焦点参数：：：
1. 样品架系统：：：样品盘可容纳4个32mm ?? 32mm的蒸镀基片，可真空下切换掩膜 ；基片盘可旋转，转速0-30转/分可调 ；
2. 蒸发沉积系统：：：16组蒸起源，可蒸镀有机和金属质料 ；4套可编程直流电源，知足4源共蒸 ；
3. 真空系统：：：极限真空优于3.5??10-5 Pa ；从常压到5??10-4 Pa不凌驾15min ；
4. 手套箱系统：：：水氧含量小于1ppm ；
测试内容及领域：：：
有机、金属质料真空镀膜、器件制备。
应用领域：：：
光电手艺（OLED显示/照明、有机/钙钛矿太阳能电池）
微电子（薄膜晶体管、金属电极、超导器件）
光学涂层（增透膜、高反膜、滤光片）
前沿科研（低维质料、量子点器件、外貌科学等）
注重事项（仪器使用和样品制备）
一、预约测试与使用
1. 培训：：：操作者必需经由系统性的正规培训，并通过审核获得自力操作资格。未经允许严禁操作仪器。
2. 提前预约：：：严酷凭证实验室治理系统提前预约，并遵守时间安排。完成制备后实时在系统中竣事预约。相同与准备：：：预约时需明确见告蒸镀质料、蒸镀厚度等信息，以便治理员确认要领兼容性。
二、 样品制备注重事项
1. 样品自己
相容性：：：样品必需知足仪器的蒸镀要求，制备样品时需提前做膜厚标定，包管样品制备膜层与需求一致。
2. 上机前准备：：：质料及样品准备完成后放入仪器中，确保仪器运行后真空度低于5??10-4 Pa后举行蒸镀事情。
3. 制备竣事：：：实验完成后，确认质料源降温竣事后，充氮气破真空，取样完成关闭腔门。
主要配件及拓展功效
仪器操作指引：：：
详细仪器操作，请联系治理职员查阅仪器说明书。
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