仪器名称：磁控溅射镀膜系统

型号：FJL450E磁控与离子束复合溅射装备

应用规模：磁控溅射手艺是使用带电离子在电磁场的作用下，，，轰击靶物质，，，被溅射出来的原子以一定的动能射向衬底，，，在衬底上形成薄膜。。。磁控溅射的特点是：对多种质料有用、、、沉积速率高、、、低能溅射。。。