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型号

Q150V S Plus

放置所在

继续教育学院104

认真人

徐晓龙/王向科

联系方式

15656017000/13424924251

使用方式

培训预约使用

主要手艺指标

1. 真空系统：：5m3/hr旋转机械泵＋70L/s风冷涡轮分子泵（仪器内部）；；系统极限真空度为1 x 10-6 mbar；；溅射事情真空规模：：镀金时真空在5x 10-3和1 x 10-1mbar之间；；

2. 溅射电流：：0-150mA连续可调；；接纳低电压恒流冷溅射方式；；

3. 溅射时间：：可预设溅射时间；；一次真空条件下1-3600秒连续可调；；

4. 溅射靶材：：标配直径57mm圆片铬靶1块。
。

研究领域

制备种种金属、非金属的功效性薄膜。
。

测试内容

无

治理步伐

□有 □无

委托测试单

□有 □无

仪器状态

正常